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公开/公告号CN210163516U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 复旦大学;
申请/专利号CN201920470169.1
发明设计人 朱银燕;叶碧莹;郁扬;黄海明;王文彬;高春雷;吴施伟;殷立峰;沈健;
申请日2019-04-09
分类号
代理机构上海正旦专利代理有限公司;
代理人陆飞
地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号
入库时间 2022-08-22 12:51:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-20
授权
机译: 分子束外延装置以及使用分子束外延装置制造III族氮化物的立方单晶薄膜的方法
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