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热灯丝CVD沉积金刚石膜系统中负衬底偏压增强活性离子流量的理论分析

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本文对热灯丝 CVD沉积金刚石膜的核化过程进行了分析 ,从理论上研究了负衬底偏压增强活性离子的流量 .

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来源
《河南师范大学学报：自然科学版》 |2000年第4期|22-26|共5页
作者
王必本; 王万录; 廖克俊; 肖金龙;
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作者单位

重庆大学理学院应用物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
热灯丝CVD; 负衬底偏压; 活性离子; 金刚石膜; 沉积;

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