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陈宇晓; 刘昌孝;
中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900;
电子科技大学,四川,成都,610054;
微机械加速度计; 模型; 方程; 参数;
机译:使用兼容的机械放大器改善平面电容式微加速度计的灵敏度和带宽
机译:电容式微机械加速度计系统温度特性的仿真与优化
机译:Σ-Δ电容式微机械加速度计的设计和噪声分析
机译:适用于电容式微机械加速度计应用的无电容器CMOS低噪声,低压差稳压器
机译:用于电容式微加速度计的低噪声CMOS接口。
机译:基于静电刚度调节的MEMS加速度计寄生电容失配方法
机译:用于纳米级微加速度计的高灵敏度编码器式微区域改变电容式传感器
机译:批量微机械电容式伺服加速度计
机译:电容式微机械传感器结构和微机械加速度计
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