叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析

摘要

为了分析叉指式微加速度计静电-机械耦合场,提出了一种近似分析方法.作为实例,分析了一种新型微加速度计的机-电耦合场对灵敏度的影响,所得结果与理论值比较一致,且计算精度接近于有限元分析方法,进一步计算表明:将该近似方法与有限元方法结合,不仅可以提高求解速度,还可以达到较高的精度.