首页> 中国专利> 一种用于电容式微机械加速度计电容检测的装置

一种用于电容式微机械加速度计电容检测的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的装置,第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接,第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离,检测电容C

著录项

  • 公开/公告号CN206990621U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2018-02-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 四川知微传感技术有限公司;

    申请/专利号CN201720776380.7

  • 申请日2017-06-29

  • 分类号

  • 代理机构成都行之专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人郭受刚

  • 地址 610000 四川省成都市高新区(西区)天辰路88号4栋三单元4层

  • 入库时间 2022-08-22 03:57:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-02-09

    授权

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