电容式微机械静电伺服加速度计系统分析

摘要

战略惯导加速度计实用化的首要条件是大量程(70g以上)和高稳定性,该文针对一种最基本、最为典型和工艺上较易实现的

目录

文摘

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声明

第一章引言

1.1概述

1.2国内外发展动态

1.3立题依据和研究内容

第二章加速度计原理及模型

2.1工作原理

2.2静态模型

2.3动态模型

2.4电模拟模型

2.5小结

第三章加速度计系统静态分析

3.1静电反馈原理

3.2机械稳定性分析

3.3最大量程设计分析

3.4小结

第四章加速度计系统动态分析

4.1二阶连续时间系统分析

4.2加速度计的动态特性

4.3闭环伺服系统的动态特性

4.4仿真

4.5小结

第五章结论

主要符号表

参考文献

致谢

附录

个人简历