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李枚; 王保安; 胡军;
中国工程物理研究院电子工程研究所,绵阳,621900;
加速度计; 硅微加速度开关; 误差分析; 交叉梁;
机译:微悬臂梁作为气相传感平台:聚合物涂层多孔硅过硅微悬臂梁的生产的简化和优化
机译:表面微加工技术的多晶硅悬臂梁在微开关中的应用
机译:基于单个微环的 $ 2×2 $ tex-math> inline-formula>硅光子交叉开关
机译:硅差动振动惯性微梁加速度计小型化的概念和限制
机译:第一部分。经由铜(I)介导的二硫化物和芳基烯基卤化物的交叉偶联合成芳基或烯基硫。第二部分分子开关的设计:新颖的2,3-双双芳基醌开关及其应用。
机译:硅微悬臂梁传感器可检测分子开关Spiropyan的可逆构象变化
机译:一种研究多层微梁开关非线性行为的综合模型
机译:用干涉偏转测量法表征多晶硅微悬臂梁产生弯矩的机理
机译:加速开关具有弯曲的梁元件,以便通过限定的加速度以与梁元件垂直的分量接触基本元件;开关由安装在基础元件上的盖子封装
机译:带有八根梁的桥式硅加速度传感器的制备以及由该制备方法制造的加速度传感器
机译:(110)硅加速度测量装置加速度传感部件的设计与制造方法
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