单晶Si表面微观磨损机理的SEM研究

摘要

在微型机电系统和计算机磁记录系统中，硅材料的应用正日益受到重视。这是由于硅材料具有硬度高、表面光洁度好、成本低廉、易于采用集成电路技术制造和有利于器件微小型化等特点。因此，有关硅材料的微观摩擦学问题的研究已成为国际摩擦学领域的前沿课题。