单晶SiC基板的表面加工方法、其制造方法和单晶SiC基板的表面加工用磨削板

摘要

一种单晶SiC基板的表面加工方法，将磨削板安装于磨削装置上，通过所述磨削板产生氧化生成物，一边除去该氧化生成物一边进行表面的磨削，所述磨削板是在具有平坦面的基体件上依次贴附有软质垫、硬质垫的磨削板，在所述硬质垫的表面固定有磨粒，所述磨粒包含比单晶SiC软且具有带隙的至少1种以上的金属氧化物。