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李素杰; 卢志恒;
不详;
离子注入; 硅; 非晶化; 损伤恢复;
机译:Ge预非晶化注入和硅覆盖对Ni(Pt)SiGe / p比接触电阻率的影响
机译:在变化的自离子注入条件下非晶化的硅上的波动电子显微镜
机译:硅锗通道pFET中锗预非晶化注入相关的断态泄漏和性能变化
机译:通过TRIM计算对Ge / sup + /预非晶化和BF / sub 2 / +注入硅中的离子束缺陷工程设计c +注入条件
机译:硅硒(2)纳米线中的非晶化和断裂:并行计算机体系结构上的分子动力学模拟。
机译:锂离子电池耐用硅阳极非晶碳涂层的计算评估
机译:硅注入应变硅合金层的非晶化阈值
机译:硅离子注入对硅的非晶化研究
机译:在初级晶体半导体层上构建栅电极的方法,包括通过栅电极定义纵向方向并实施用于形成非晶化场的非晶化注入工艺
机译:用于形成多晶硅发射极双极晶体管的非晶化离子注入方法
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