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圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制

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本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述.圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成品率达到80%.

著录项

来源
《应用声学》 |2006年第4期|197-200|共4页
作者
杨楚威; 李俊红; 黄歆; 汪承灏;
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作者单位

中国科学院声学研究所,北京,100080;

中国科学院声学研究所,北京,100080;

中国科学院声学研究所,北京,100080;

中国科学院声学研究所,北京,100080;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理学;
关键词
硅微传声器; 圆形振动膜; 压电薄膜; ZnO;

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