声明
摘要
第1章 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 国内外研究现状
1.2.1 微构件表面效应的研究
1.2.2 吸附对微构件力学性能的影响
1.2.3 液体对微构件动态特性的影响
1.2.4 存在的主要问题
1.3 主要研究内容
第2章 考虑表面效应的圆形微膜动力学研究
2.1 引言
2.2 控制方程
2.3 伽辽金法近似求解
2.4 数值结果与讨论
2.4.1 各阶振型
2.4.2 固有频率的尺寸依赖性
2.4.3 质量敏感性的尺寸依赖性
2.5 本章小结
第3章 残余应力对圆形微膜动力学特性的影响
3.1 引言
3.2 控制方程与解析解
3.3 数值结果与讨论
3.3.1 有效抗弯刚度
3.3.2 振动模式
3.3.3 固有频率
3.4 本章小结
第4章 液体对圆形微膜动力学特性的影响
4.1 引言
4.2 圆形微膜理论模型
4.3 液体动能
4.4 利用Rayleigh-Ritz法近似求解
4.5 能量耗散与品质因数
4.6 数值结果与讨论
4.6.1 固有频率的尺寸依赖性
4.6.2 品质因数的尺寸依赖性
4.7 本章小结
5.1 引言
5.2 动力学方程
5.3 分离变量法求解
5.4 品质因数模型
5.5 数值结果与讨论
5.5.1 固有频率
5.5.2 品质因数
5.6 本章小结
第6章 考虑表面效应的双层圆形微膜动力学特性研究
6.1 引言
6.2 动力学方程
6.3 伽辽金法求近似解
6.4 数值结果与讨论
6.4.1 固有频率
6.4.2 厚度对固有频率的影响
6.5 本章小结
第7章 总结与展望
7.1 全文总结
7.2 主要创新点
7.3 研究展望
参考文献
致谢
攻读博士学位期间发表的学术论文