硅微ZnO压电薄膜传声器的研制

杨楚威; 黄歆; 李俊红; 解述; 魏建辉; 马军; 汪承灏

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硅微ZnO压电薄膜传声器的研制

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本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述.本文对传声器的部分结构进行改进,与通常设计相比较大幅提高了传声器的性能,1000Hz基准频率的灵敏度达到-85dB(相对于1V/Pa),500Hz到10000Hz的频率响应的平坦度在±3dB范围内.

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来源
《应用声学》 |2003年第5期|1-4|共4页
作者
杨楚威; 黄歆; 李俊红; 解述; 魏建辉; 马军; 汪承灏;
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作者单位

中国科学院声学研究所,北京,100080;

中国科学院声学研究所,北京,100080;

中国科学院声学研究所,北京,100080;

中国科学院声学研究所,北京,100080;

中国科学院声学研究所,北京,100080;

中国科学院声学研究所,北京,100080;

中国科学院声学研究所,北京,100080;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类传声器（微音器）;
关键词
ZnO; 硅微传声器; 压电薄膜; 微机电系统;

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