小剂量离子注入均匀性的工艺控制

摘要

cqvip:本文叙述了影响小剂量离子注入均匀性的几个主要因素,其中包括束流品质、离子束聚焦与扫描以及束流大小的选择等。同时介绍了如何控制这些因素来获取优异的注入均匀性,通过这些控制手段,均匀性可以优于5%,结果令人满意。