柔性MEMS流速传感器的测控电路设计与实验

摘要

针对MEMS流速传感器量程小及无法应用于曲面的不足,设计制造了一种柔性MEMS流速传感器,其结构主要包含加热电阻和3对测温热电阻,同时结合热损失和热温差工作原理来实现宽量程的流速测量.设计了带温度补偿的双惠斯登电桥测控电路,利用STM32微处理器ADC模块对多路流速测量结果进行采样.测试实验实现了0～ 32 m/s的输入风速测量,其中在1m/s以下的低风速段内传感器具有100 mY/(m·s-1)的较高灵敏度,在风速(1～7 m/s)和(7～32 m/s)下的灵敏度分别为83.1 mV/(m·s-1)和28.3 mV/(m·s-1).该柔性MEMS流速传感器可贴于曲面应用,测量范围大、精度高.