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陈华; 来强涛; 郭桂良; 郭江飞; 韩荆宇;
中国科学院微电子研究所;
中国科学院大学;
相干检测; 正交误差; 读出系统; 陀螺; MEMS传感器;
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机译:具有频率调节和静电消除正交误差的MEMS陀螺仪
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