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MEMS振动传感器信号检测电路设计与实现

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分析了电容检测电路原理,优化设计了C/V模块电路、接口电路和零偏及标度因数补偿电路,并搭建电路以及联合微机械差分电容结构进行了集成测试.经过测试验证,设计的微机电系统(MEMS)振动传感器信号检测电路对微弱电容具有较好的检测放大作用,并具有较强的接口适应性和防护能力.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2021年第7期|63-66|共4页
作者
陈伟琪; 肖定邦; 蒲金飞; 李凯; 毛善国;
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作者单位

国防科技大学智能科学学院湖南长沙410073;

国防科技大学智能科学学院湖南长沙410073;

国防科技大学智能科学学院湖南长沙410073;

唐智科技湖南发展有限公司湖南长沙410007;

国防科技大学智能科学学院湖南长沙410073;

湖南天羿领航科技有限公司湖南长沙410100;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
微机电系统(MEMS)振动传感器; 检测电路; 补偿电路; 测试;

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