一种压阻式微压力传感器

摘要

微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一,它结构简单、用途广.基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器.为增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻.基于一些相关的微加工工艺制定了制作这种微传感器的工艺流程并且制作成功了传感芯片.设计了一个处理电路去获得此传感器的输出信号,它由两级放大电路和两级巴特沃斯低通滤波电路组成.最后利用这个测试系统检测出了随压力变化而发生变化的微电压信号.