压阻式

摘要： TDK集团近日推出采用超低剖面设计的高精度AVD系列新型压力变送器。新系列元件的订购代码为B58621V*,有三种型号供选择,可选压力测量范围有0至16 mbar、0至100 mbar和0至7 bar。这些压阻式压力变送器基于微机电系统(MEMS)技术,具有诸多特点,比如:尺寸紧凑,占用面积为31×40 mm,插入高度仅为12.9 mm,适合狭窄空间应用;可高精度测量低压,压力范围为100 mbar时的测量精度可达±1.75%FS(满量程);应用范围广,可用于空气和其他非腐蚀性气体的压力测量应用。此外,它们不仅能测量差压,还适合-20°C至+70°C温度范围内的过压测量应用。

摘要： MEMS加速度计作为MEMS应用领域中最早开始研究的传感器之一,是一种微型的机电设备,它可以感知物体在多个轴上的加速度分量。如今,基于微电子机械的加速度计已被广泛应用于太空测量、惯性导航、消费电子、汽车电子和地质勘探等各个领域,其重量往往只有几毫克重,足迹肉眼不可见。本文综述了MEMS加速度计的发展历史,重点介绍了早期油阻尼压阻式微加速度计和空气阻尼电容式微加速度计的结构和原理,并分析了近年MEMS加速度计的发展趋势与应用。

摘要： 本文介绍了常用柔性触觉传感器的特点和分类,对其应用的新型材料、工作原理和结构、触觉传感特性等做了详细介绍。阐述了压阻式、压电式、电容式柔性触觉传感器的结构、工艺与性能,并且介绍了其适用环境和测量范围。柔性触觉传感器在智能医疗、航天航空应用、智能机器人设备、军事智能制造、汽车安全领域未来发展前景十分广阔。在未来科技的推动下,柔性触觉传感器趋向高灵敏度、高柔弹性以及多功能等方向发展。

摘要： TDK推出采用超低剖面设计的高精度AVD系列新型压力变送器。新系列有3种型号可供选择,可选压力测量范围有0~16 mbar、0~100 mbar和0~7 bar。这些压阻式压力变送器基于MEMS技术,具有诸多特点,如:尺寸紧凑,占用面积为31 mm×40 mm,插入高度仅为12.9 mm,适合狭窄空间应用;可高精度测量低压,压力范围为100 mbar时的测量精度可达±1.75%FS(满量程)。

摘要： 利用硅微材料的压阻效应,结合微机电系统(MEMS)加工技术,设计一种高g值压阻式加速度传感器结构,主要应用于爆炸、冲击测试以及引信侵彻等特殊领域。采用参数分析,确定了传感器的三维模型,提取敏感梁的表面路径,分析总结其应力分布规律,据此确定压敏电阻位置,并设计能单独测量且抗交叉干扰的测量电路。最后通过有限元对传感器敏感结构进行仿真分析,仿真结果表明:该加速度计水平面内其X方向灵敏度为4.37μV/g_(n),Y方向灵敏度为4.44μV/g_(n),一阶固有频率为105.80 kHz,量程可达到15×10^(4)g_(n)。

摘要： 在悬臂梁-质量块MEMS加速度敏感结构的基础上,为提高其固有频率,拓展其应用领域,提出了一种带有直拉直压微梁的新型压阻式加速度敏感芯片,通过在结构中引入敏感微梁,达到均衡提高固有频率和灵敏度的目的。使用有限元法对结构的特性进行了仿真分析,结果表明该结构和普通MEMS加速度敏感结构相比,在保证较高灵敏度及良好线性输出的前提下,显著提高了固有频率,可达其87倍以上,同时改善了过载能力,可提高6倍以上。

摘要： 为解决硅压阻式压力芯片灵敏度随着温度变化发生漂移的问题,设计了一种在片上集成温度补偿结构的压力芯片。在压力芯片上制备电阻温度系数(TCR)为负数的多晶硅电阻用于分压,调整不同温度下的惠斯通电桥端电压以达到灵敏度补偿的效果。本文的研究包含理论分析、参数计算,并进行了芯片制备和性能测试。性能测试结果表明,补偿后的耐高温封装传感器芯片在-50°C~270°C区间内,温漂为-0.034%FS/°C,简易封装传感器芯片在-40°C~125°C区间内的温漂为-0.008%FS/°C,该补偿芯片的温漂远小于无补偿的压力芯片。

摘要： 在信息时代,传感器已渗透到各个领域。压阻式柔性应变传感器因其优良的柔韧性、可拉伸/弯曲性以及在异形物体表面的“随形”贴合性,在智能穿戴、人机交互、结构服役过程监测等领域发挥了重要作用。压阻式柔性应变传感器一般有填充式、夹层式和吸附式三种结构,三种结构在制备复杂程度、重复性及传感性能等方面均有差异。研究者们多采用传统方法实现结构构筑,但传统方法普遍存在操作复杂、成本高、重复性差等问题,而采用新兴的3D打印技术可以高效、高精度、可重复地构筑传感结构,赋予了传感器更大的发展空间。在构筑压阻式柔性应变传感器时需采用柔性基体材料和导电填料,构筑得到的传感器主要有裂纹扩展、导电网络断开和隧穿效应三种传感机制,传感机制的形成与传感器的微观结构和材料有关。另外,压阻式柔性应变传感器的传感性能通常通过灵敏度、传感范围、耐久性等参数来表征,而如何兼具多项优异性能是目前的研究热点。同时,压阻式柔性应变传感器的配套器件和技术是限制其发展的主要因素,尤其是在供电和信号传输方面。本文归纳了压阻式柔性应变传感器在材料选择、结构构筑、机理探索、性能优化、应用开发等方面的研究进展,分析了压阻式柔性应变传感器目前所面临的问题并展望其前景。

摘要： 为了实现"治已病"向"治未病"的转变,用于人体健康监测的智能传感技术亟待研究.人体脉搏包含丰富的心血管系统参数,历来是临床健康评估的重要信息来源.因此,准确、有效地监测人体脉搏并分析其包含的生理健康参数,是预防和治疗心血管疾病的有效途径.随着传感技术、电子设备和人工智能的发展,可穿戴式的智能健康监测设备备受关注.为了实现随时随地的自主健康监测,越来越多的研究学者致力于柔性压力传感器在智能医疗领域的研究,旨在通过柔性传感器的设计,实现体表脉搏监测以评估人体心血管系统健康状况.根据传感器工作原理和结构的不同,介绍了用于人体体表脉搏监测的柔性压力传感器的最新研究进展,并对未来的柔性压力传感技术提出了展望.

摘要： 液位控制是日常生活和工业过控系统中常见的控制问题之一,要实现精确的液位控制目标,需要选择合适的液位传感器.本文主要围绕不同液位传感器的测量原理及方式,分析了不同类型液位传感器的研究现状.通过分析各类主流液位传感器研究和使用中出现的普遍性问题,对主流液位传感器技术未来的发展趋势进行了展望.

摘要： 本文采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片;通过动力学分析和有限元模拟,研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构;通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,研制出量程为±2000 g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加速度计.加速度计具有较高的测量灵敏度和精度,满量程输出为126.97 mV/2V,静态精度为0.86％FS.

摘要： 在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,本文介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100 g、500g、1000 g和2000 g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.

摘要： 为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.本文设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时,复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比.

摘要： 本文利用ANSYS程序含有的有限元分析能力对一种基于MEMS技术的压阻式高g值冲击加速度传感器的敏感元件进行了受力和模态分析,为了解和指导压阻芯片的制作和传感器的封装提供了可信的分析结果.通过仿真给出了圆膜片受100000g加速度时的仿真挠度云图、径向应力曲线、切向应力曲线和前六阶模态响应的仿真结果,模态分析结果表明该结构压阻式冲击加速度传感器的频率响应特性可以满足高g值应用的要求.

摘要： MEMS是新兴的跨学科高新技术研究领域,它有着广阔的应用前景和诱人的市场价值.MEMS技术与传感器技术相结合是MEMS技术发展的必然阶段而且已经在许多领域取得了巨大的成功.加速度测量作为一种基本的物理量测量具有广泛的应用需求.因此基于MEMS技术的微加速度传感器研究是拥有巨大市场潜力的研究方向.本文介绍了微加速度计的基本结构、工作原理和加工工艺.突出地说明了它的优越性和广泛应用,并对硅微工艺进行了相应的说明.

摘要： MEMS是新兴的跨学科高新技术研究领域,它有着广阔的应用前景和诱人的市场价值.MEMS技术与传感器技术相结合是MEMS技术发展的必然阶段而且已经在许多领域取得了巨大的成功.加速度测量作为一种基本的物理量测量具有广泛的应用需求.因此基于MEMS技术的微加速度传感器研究是拥有巨大市场潜力的研究方向.本文介绍了微加速度计的基本结构、工作原理和加工工艺.突出地说明了它的优越性和广泛应用,并对硅微工艺进行了相应的说明.

摘要： MEMS是新兴的跨学科高新技术研究领域,它有着广阔的应用前景和诱人的市场价值.MEMS技术与传感器技术相结合是MEMS技术发展的必然阶段而且已经在许多领域取得了巨大的成功.加速度测量作为一种基本的物理量测量具有广泛的应用需求.因此基于MEMS技术的微加速度传感器研究是拥有巨大市场潜力的研究方向.本文介绍了微加速度计的基本结构、工作原理和加工工艺.突出地说明了它的优越性和广泛应用,并对硅微工艺进行了相应的说明.

摘要： MEMS是新兴的跨学科高新技术研究领域,它有着广阔的应用前景和诱人的市场价值.MEMS技术与传感器技术相结合是MEMS技术发展的必然阶段而且已经在许多领域取得了巨大的成功.加速度测量作为一种基本的物理量测量具有广泛的应用需求.因此基于MEMS技术的微加速度传感器研究是拥有巨大市场潜力的研究方向.本文介绍了微加速度计的基本结构、工作原理和加工工艺.突出地说明了它的优越性和广泛应用,并对硅微工艺进行了相应的说明.

摘要： 该文介绍了工业变送器的特点及其对力敏器件的特殊要求，以扩散硅变送器为例，简要介绍了国内外变送器用力敏器件的现状，发展趋势，并对发展变送器用力敏器件提出了建议。

摘要： 本发明公开了一种用于压阻传感器的压敏元件和具有其的压阻传感器，压敏元件包括：导线层；压力敏感层，所述压力敏感层覆盖在所述导线层的上表面的至少一部分上，所述压力敏感层被构造为所述压力敏感层的比电阻由上到下梯度减小或增大。根据本发明实施例的压敏元件可以对较大范围的压力进行响应，使传感器对压力检测的范围更广，检测的准确性更高。

摘要： 本发明属于压力传感器技术领域，尤其为一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，包括上电极层，所述上电极层内横向设有一组凹槽，且凹槽内固定设有上电极片，所述上电极层的下侧设有上压力敏感层，所述上压力敏感层的下端面阵列设有一组卡块，所述上压力敏感层的下侧设有下压力敏感层，所述下压力敏感层的上端面阵列设有与卡块相匹配的微结构，所述下压力敏感层的下端面固定连接有导电柔性层，所述导电柔性层内设有一组通孔。本发明通过上压力敏感层、卡块、下压力敏感层、微结构和导电柔性层，能够提高压阻式压力传感器的灵敏程度，提高压阻式压力传感器检测的精确性，还能够提高压阻式压力传感器的检测范围。

摘要： 本发明涉及具有基于JFET的桥接电路的压阻式转换器。在实施例中一种压阻式转换器包括具有经受施加的力的机械结构的衬底。至少部分形成在所述机械结构上的桥接电路包括第一半和第二半。所述桥接电路的所述第一半具有串联联接的第一结场效应晶体管(JFET)和第一压电电阻器，并且所述桥接电路的所述第二半具有串联联接的第二JFET和第二压电电阻器。所述压阻式转换器可为压阻式压力传感器，所述机械结构可为膜片，并且所述施加的力可为施加的压力。

摘要： 本发明属于压力检测领域，公开了一种数字式压阻式压力传感器电路及数字式压阻式压力传感器，包括压阻式压力传感器芯片、可变增益放大器、A/D转换器、数字温度传感器、MCU及接口单元；压阻式压力传感器芯片用于检测外界压力得到压力电压信号并发送；可变增益放大器用于接收压力电压信号并进行放大得到放大压力电压信号；A/D转换器用于接收放大压力电压信号并进行A/D转换，得到初始数字电压信号；数字温度传感器用于检测当前环境温度，得到温度信号；MCU用于接收初始数字电压信号和温度信号，根据温度信号补偿初始数字电压信号，得到数字电压信号并通过接口单元输出。极大的提升数字式压阻式压力传感器电路的精度，拓宽工作温度范围。

摘要： 本发明提供了一种柔性压阻式传感材料的抗温度干扰方法及抗温度和湿度干扰的柔性压阻式传感器，以导电纳米线和导电纳米颗粒为复合导电材料，以柔性多孔聚合物为基材，利用导电纳米线的线型结构和导电纳米颗粒的纳米效应，在柔性多孔聚合物基材中形成特殊的复合导电网络，使得依据柔性多孔聚合物基材的热膨胀性能，对复合导电材料进行调控，即可得到抗温度干扰的柔性压力传感材料，打破了现有技术对导电聚合物复合材料抗温度干扰研究的局限性，为柔性压阻式传感材料的抗温度干扰提供了一种新的有效途径。本发明还可在抗温度干扰的柔性压阻式传感材料表层涂覆疏水涂层，进一步得到抗温度和湿度干扰的柔性压阻式传感材料。

摘要： 本发明属于压力传感器技术领域，尤其为一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，包括上电极层，所述上电极层内横向设有一组凹槽，且凹槽内固定设有上电极片，所述上电极层的下侧设有上压力敏感层，所述上压力敏感层的下端面阵列设有一组卡块，所述上压力敏感层的下侧设有下压力敏感层，所述下压力敏感层的上端面阵列设有与卡块相匹配的微结构，所述下压力敏感层的下端面固定连接有导电柔性层，所述导电柔性层内设有一组通孔。本发明通过上压力敏感层、卡块、下压力敏感层、微结构和导电柔性层，能够提高压阻式压力传感器的灵敏程度，提高压阻式压力传感器检测的精确性，还能够提高压阻式压力传感器的检测范围。

摘要： 本发明公开了一种压阻式传感器的制造方法及其压阻式传感器，所述压阻式传感器为三明治式结构，包括依次层叠的上层PDMS薄膜、银纳米线介质层和下层PDMS薄膜，基于上述三明治式结构，本发明的制作方法采用对称层叠的思路，分别生产两张相同结构的PDMS/Ag NWs复合膜，然后直接复合完成生产，由于生产过程的中间控制变量减小，大大简化了生产设备，提高了生产效率。

摘要： 本发明公开了一种用于压阻式压力传感器的压力敏感层及压阻式压力传感器，该压力敏感层包括石墨烯材料和聚合物弹性体；所述石墨烯材料是疏松多孔的且具有微结构阵列，所述聚合物弹性体包覆在所述石墨烯材料外且渗入所述石墨烯材料的各个孔中。该压阻式压力传感器包括相互键合的第一电极板和第二电极板和至少一层置于所述第一电极板和所述第二电极板之间的压力敏感层；所述微结构阵列中的微结构与所述第一电极板和/或所述第二电极板中的电极接触。本发明的该压阻式压力传感器能将外界压力大小转化为传感器的电阻值，从而利用电信号的变化来感知外界压力的变化，具有灵敏度高、成本低、高柔韧性、易加工、易于阵列化与微型化等优点。

摘要： 本发明涉及压力传感器技术领域，尤其涉及一种MEMS压阻式压力传感器及压阻排布方法，该MEMS压阻式压力传感器包括：感压膜；位于所述感压膜上的两个第一类电阻和两个第二类电阻；第一类电阻和第二类电阻排布在所述感压膜边缘，形成惠斯通电桥；所述第一类电阻所在的第一位置的第一应力与所述第二类电阻所在的第二位置的第二应力之间存在应力差，进而通过第一类电阻与第二类电阻的不对称位置，即相同压力下应力大小具有适当差异的位置，使得引入的电路非线性补偿原有的非线性，以提高该MEMS压阻式压力传感器的线性度。

摘要： 本实用新型公开了一种压力敏感层及、压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，该压力敏感层包括石墨烯材料和聚合物弹性体；所述石墨烯材料是疏松多孔的且具有微结构阵列，所述聚合物弹性体包覆在所述石墨烯材料外且渗入所述石墨烯材料的各个孔中。该压阻式压力传感器包括相互键合的第一电极板和第二电极板和至少一层置于所述第一电极板和所述第二电极板之间的压力敏感层；所述微结构阵列中的微结构与所述第一电极板和/或所述第二电极板中的电极接触。本实用新型的该压阻式压力传感器能将外界压力大小转化为传感器的电阻值，从而利用电信号的变化来感知外界压力的变化，具有灵敏度高、成本低、高柔韧性、易加工、易于阵列化与微型化等优点。