MEMS谐振器集总参数的系统级提取方法

摘要

在MEMS谐振器的设计过程中,质量、刚度等集总参数在描述器件动态性能方面起着决定性的作用.因此,集总参数的获取至关重要.传统的集总参数的提取方法有解析法、有限元法、实验法等.但这些方法在提取效率、提取精度方面都存在着固有的缺陷.基于MEMS系统级仿真平台MuPEN,提出了一种由系统级仿真结果提取微谐振器刚度、质量等集总参数的方法.以文献中的微谐振器为例,对该方法进行了验证.首先,通过MuPEN平台对微谐振器进行系统级建模、仿真、数据拟合等.然后,提取了谐振器的刚度和质量参数,并将仿真提取结果与实验提取结果进行对比,结果表明误差小于5％.集总参数的系统级提取方法是准确、高效的.