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B6.4 Spectral Response of MEMS Plate Resonators Exhibiting Non-conventional Vibrational Modes in Fluids

机译：B6.4 MEMS板谐振器的光谱响应在流体中表现出非传统振动模式的谐振器

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D. Platz; A. Gesing; U. Schmid;
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年度 2021
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