多晶硅原料三氯氢硅合成方法获专利

摘要

日前，广州吉必盛科技实业有限公司合成多晶硅原料三氯氢硅的方法获得国家发明专利授权。该方法可将三氯氢硅收率从82％提高至88％以上。