浅谈多晶硅生产中三氯氢硅的提纯方法

摘要

超纯硅的好坏，往往取决于原料的纯度。超纯硅的发展方向是如何进一步提高纯度效果。精馏法是一种最重要的提纯方法，此法具有处理量大，操作方便，板效率高，又避免引进任何试剂，绝大多数杂质都能被完全分离，特别是非极性重金属氧化物。精馏搭的操作是从物料平衡，气液平衡，热量平衡及精馏塔性能等几个发面考虑，通过控制系统建立并调节塔的操作条件。