三氯氢硅合成与多晶硅还原尾气全组分干法回收合并新工艺

摘要

针对三氯氢硅(TCS)合成尾气与TCS还原尾气各自独立的干法回收处理工艺特点,提出了TCS合成、还原尾气合并干法回收处理的新工艺。其优势在于,最大限度地利用了氯硅烷特殊的吸收特性与冷热量的充分交换,减轻回收HCl、H_2的负荷,保证了回收效率与质量,降低了设备投资成本,实现了多晶硅尾气全闭路循环处理、物料的部分综合利用。