少数载流子寿命测试系统研究

摘要

少数载流子寿命是衡量半导体材料性能的关键参数之一 ,文中介绍了光电导衰退法少数载流子寿命测试系统。阐述了光电导衰退法测试原理 ,分析了测试系统构成 ,以及光脉冲下降沿时间、微弱信号放大处理、前放带宽、精密定位等关键技术 ,其主要性能指标是 :少数载流子寿命测试范围 :1× 10 - 7～ 6× 10 - 6s ;可测样品尺寸 :小于 2 0mm ;单色光光点大小 :Φ 0 .3mm ;测试数据稳定度优于 10 %。