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一种硅芯少数载流子寿命测试工作台

摘要

本实用新型公开了一种硅芯少数载流子寿命测试工作台,涉及硅芯生产技术领域,该硅芯少数载流子寿命测试工作台,包括测试台、支撑板、滑轨和电动伸缩杆,所述支撑板的一侧设置有一号电机,所述支撑板的上端开设有凹槽,所述凹槽的内侧设置有支撑座,所述一号电机的输出端靠近凹槽的中部设置有螺纹杆,所述螺纹杆的外侧设置有螺纹座,所述螺纹座的上端固定连接有辅助板;本设计通过调节组件的设置,从而将移动板进行调节固定,进而便于固定不同尺寸的硅芯,提高其实用性,通过固定组件的设置,从而将硅芯进行快速夹紧固定,方便进行后续的旋转检测,结构简单,操作便捷,省时省力,提高硅芯的固定效率。

著录项

  • 公开/公告号CN218886065U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2023-04-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国电子技术标准化研究院;

    申请/专利号CN202222230575.5

  • 发明设计人 赵昭;李洁;张继平;

    申请日2022-08-24

  • 分类号G01R31/26(2014.01);G01R1/04(2006.01);

  • 代理机构北京世誉鑫诚专利代理有限公司 11368;

  • 代理人仲伯煊

  • 地址 100176 北京市东城区安定门东大街1号

  • 入库时间 2023-06-01 21:51:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-04-18

    授权

    实用新型专利权授予

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅芯生产技术领域,具体为一种硅芯少数载流子寿命测试工作台。

背景技术

少数载流子寿命是半导体材料的一个重要参数,半导体材料的少数载流子寿命不仅可以表征半导体材料的质量,还可以评价器件制造过程中的质量,在评价过程中需要使用到对应的测试仪器,经检索现有一种方硅芯少数载流子测试用工作台(公开号:CN215728599U)在使用过程中存在一定的不足,其在检测硅芯过程中长度固定不便,不能进行有效调节,减低其实用性,为此,本领域的工作人员提出了一种硅芯少数载流子寿命测试工作台。

实用新型内容

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅芯少数载流子寿命测试工作台,解决了上述背景技术中的问题。

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种硅芯少数载流子寿命测试工作台,包括测试台、支撑板、滑轨和电动伸缩杆,所述支撑板的一侧设置有一号电机,所述支撑板的上端开设有凹槽,所述凹槽的内侧设置有支撑座,所述一号电机的输出端靠近凹槽的中部设置有螺纹杆,所述螺纹杆的外侧设置有螺纹座,所述螺纹座的上端固定连接有辅助板,所述辅助板的上端设置有移动板,所述辅助板和移动板的连接处设置有调节组件,所述辅助板的一侧设置有二号电机,所述二号电机的输出端设置有一号连接座,所述移动板的一侧设置有二号连接座,所述二号连接座和移动板的连接处设置有转动座,所述一号连接座和二号连接座的内侧均设置有固定组件,所述测试台的内部设置有检测仪,所述检测仪的底部设置有检测头;

所述调节组件包括移动槽,所述移动板的底部设置有移动块,所述移动块的一侧设置有缓冲弹簧,所述辅助板的上端开设有定位槽,所述移动板的一侧开设有滑槽,所述滑槽的底部开设有移动孔,所述滑槽的内部设置有滑块,所述滑块的底部设置有定位桩,所述滑块的一侧设置有操作手柄,所述滑块的上端设置有限位弹簧。

作为本实用新型进一步的技术方案,所述电动伸缩杆的数量为两组并呈对称分布,所述支撑座和螺纹杆之间为转动连接,所述辅助板的侧剖面为“L”型结构,所述移动板为矩形结构。

作为本实用新型进一步的技术方案,所述移动槽和移动块之间相适配,所述缓冲弹簧的数量与移动块的数量均为两组并呈对称分布,所述缓冲弹簧的两端分别与移动块和移动槽之间形成固定连接,所述定位槽的数量为若干组并呈阵列分布。

作为本实用新型进一步的技术方案,所述滑槽和移动孔之间相连通,所述滑块和定位桩之间为固定连接,所述定位桩和定位槽之间相适配,所述操作手柄和滑块之间为一体结构,所述限位弹簧的数量为两组并呈对称分布,所述限位弹簧的两端分别与滑块和滑槽之间形成固定连接。

作为本实用新型进一步的技术方案,所述固定组件包括调节孔,所述调节孔的数量为四组并呈对称分布,所述调节孔的内部设置有支撑杆,所述支撑杆的一端固定连接有联动板,所述支撑杆的另一端固定连接有夹紧板,所述夹紧板为弧形弹性结构。

作为本实用新型进一步的技术方案,所述联动板的一侧固定连接有拉动手柄,所述拉动手柄的侧剖面为“T”型结构,所述联动板的另一侧设置有夹紧弹簧,所述夹紧弹簧的两端分别与二号连接座和联动板之间形成固定连接。

有益效果

本实用新型提供了一种硅芯少数载流子寿命测试工作台。与现有技术相比具备以下有益效果:

1、一种硅芯少数载流子寿命测试工作台,通过调节组件的设置,在测试台使用前,使用者将根据硅芯的长短进行移动板的移动,首先将操作手柄带动滑块向上拉动,在拉动过程中带动定位桩沿着定位槽和移动孔的内侧进行移动,同时两组限位弹簧进行压缩,直至定位桩脱离定位槽的束缚后,将沿着的内侧进行移动,在移动过程中进行压缩,直至移动板移动合适位置,松开操作手柄,在限位弹簧的弹性势能下,使得定位桩沿着移动孔进行下移,从而定位在最近的定位槽内部,从而将移动板进行调节固定,进而便于固定不同尺寸的硅芯,提高其实用性。

2、一种硅芯少数载流子寿命测试工作台,通过固定组件的设置,在硅芯夹紧固定时,使用者将一号连接座中部的两组拉动手柄向外侧拉动,使得拉动手柄带动联动板进行移动,此时夹紧弹簧进行拉伸,从而联动板带动支撑杆沿着调节孔的内侧进行移动,进而带动夹紧板进行移动,直至移动至合适位置,将硅芯卡在两组夹紧板的中部,松开拉动手柄,在夹紧弹簧的弹性势能下,使得两组夹紧板将硅芯进行夹紧固定,其次,在将硅芯的另一端通过上述步骤固定在二号连接座的中部,从而方便进行后续的检测,结构简单,操作便捷,省时省力,提高硅芯的固定效率。

附图说明

图1为一种硅芯少数载流子寿命测试工作台的结构示意图;

图2为一种硅芯少数载流子寿命测试工作台的局部拆分图;

图3为一种硅芯少数载流子寿命测试工作台的图2中A的放大图;

图4为一种硅芯少数载流子寿命测试工作台的左视图;

图5为一种硅芯少数载流子寿命测试工作台的图4中A-A的侧剖视图;

图6为一种硅芯少数载流子寿命测试工作台的图5中B的放大图;

图7为一种硅芯少数载流子寿命测试工作台的图2中C的放大图。

图中:1、测试台;2、支撑板;3、滑轨;4、电动伸缩杆;5、一号电机;6、凹槽;7、支撑座;8、螺纹杆;9、螺纹座;10、辅助板;11、移动板;12、调节组件;121、移动槽;122、移动块;123、缓冲弹簧;124、定位槽;125、滑槽;126、移动孔;127、滑块;128、定位桩;129、操作手柄;1210、限位弹簧;13、二号电机;14、一号连接座;15、二号连接座;16、转动座;17、固定组件;171、调节孔;172、支撑杆;173、联动板;174、夹紧板;175、拉动手柄;176、夹紧弹簧;18、检测仪;19、检测头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-7,本实用新型提供一种硅芯少数载流子寿命测试工作台技术方案:一种硅芯少数载流子寿命测试工作台,包括测试台1、支撑板2、滑轨3和电动伸缩杆4,支撑板2的一侧设置有一号电机5,支撑板2的上端开设有凹槽6,凹槽6的内侧设置有支撑座7,一号电机5的输出端靠近凹槽6的中部设置有螺纹杆8,螺纹杆8的外侧设置有螺纹座9,螺纹座9的上端固定连接有辅助板10,辅助板10的上端设置有移动板11,辅助板10和移动板11的连接处设置有调节组件12,辅助板10的一侧设置有二号电机13,二号电机13的输出端设置有一号连接座14,移动板11的一侧设置有二号连接座15,二号连接座15和移动板11的连接处设置有转动座16,一号连接座14和二号连接座15的内侧均设置有固定组件17,测试台1的内部设置有检测仪18,检测仪18的底部设置有检测头19,调节组件12包括移动槽121,移动板11的底部设置有移动块122,移动块122的一侧设置有缓冲弹簧123,辅助板10的上端开设有定位槽124,移动板11的一侧开设有滑槽125,滑槽125的底部开设有移动孔126,滑槽125的内部设置有滑块127,滑块127的底部设置有定位桩128,滑块127的一侧设置有操作手柄129,滑块127的上端设置有限位弹簧1210。

请参阅图1-2,进一步的,电动伸缩杆4的数量为两组并呈对称分布,支撑座7和螺纹杆8之间为转动连接,辅助板10的侧剖面为“L”型结构,移动板11为矩形结构。

请参阅图3-6,移动槽121和移动块122之间相适配,缓冲弹簧123的数量与移动块122的数量均为两组并呈对称分布,缓冲弹簧123的两端分别与移动块122和移动槽121之间形成固定连接,定位槽124的数量为若干组并呈阵列分布,滑槽125和移动孔126之间相连通,滑块127和定位桩128之间为固定连接,定位桩128和定位槽124之间相适配,操作手柄129和滑块127之间为一体结构,限位弹簧1210的数量为两组并呈对称分布,限位弹簧1210的两端分别与滑块127和滑槽125之间形成固定连接,从而便于不同长度的硅芯进行检测固定。

请参阅图7,固定组件17包括调节孔171,调节孔171的数量为四组并呈对称分布,调节孔171的内部设置有支撑杆172,支撑杆172的一端固定连接有联动板173,支撑杆172的另一端固定连接有夹紧板174,夹紧板174为弧形弹性结构,联动板173的一侧固定连接有拉动手柄175,拉动手柄175的侧剖面为“T”型结构,联动板173的另一侧设置有夹紧弹簧176,夹紧弹簧176的两端分别与二号连接座15和联动板173之间形成固定连接,从而可以快速将硅芯进行夹紧固定。

本实用新型的工作原理:在工作台使用过程中,使用者将根据硅芯的长短将移动板11通过调节组件12进行调节,调节完成后,将硅芯的两端通过固定组件17固定在一号连接座14和二号连接座15的中部,启动一号电机5,通过螺纹杆8和螺纹座9的配合将辅助板10、移动板11和硅芯移动至检测头19的正下方,在通过启动电动伸缩杆4将支撑板2的位置升高,使得硅芯接触检测头19,再启动二号电机13,使得一号连接座14和二号连接座15带动硅芯进行旋转,从而进行多方位的硅芯检测,进而提高测试数据。

需要说明的,通过调节组件12的设置,在测试台1使用前,使用者将根据硅芯的长短进行移动板11的移动,首先将操作手柄129带动滑块127向上拉动,在拉动过程中带动定位桩128沿着定位槽124和移动孔126的内侧进行移动,同时两组限位弹簧1210进行压缩,直至定位桩128脱离定位槽124的束缚后,将沿着的内侧进行移动,在移动过程中进行压缩,直至移动板11移动合适位置,松开操作手柄129,在限位弹簧1210的弹性势能下,使得定位桩128沿着移动孔126进行下移,从而定位在最近的定位槽124内部,从而将移动板11进行调节固定,进而便于固定不同尺寸的硅芯,提高其实用性。

需要说明的,通过固定组件17的设置,在硅芯夹紧固定时,使用者将一号连接座14中部的两组拉动手柄175向外侧拉动,使得拉动手柄175带动联动板173进行移动,此时夹紧弹簧176进行拉伸,从而联动板173带动支撑杆172沿着调节孔171的内侧进行移动,进而带动夹紧板174进行移动,直至移动至合适位置,将硅芯卡在两组夹紧板174的中部,松开拉动手柄175,在夹紧弹簧176的弹性势能下,使得两组夹紧板174将硅芯进行夹紧固定,其次,在将硅芯的另一端通过上述步骤固定在二号连接座15的中部,从而方便进行后续的检测,结构简单,操作便捷,省时省力,提高硅芯的固定效率。

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