一种方硅芯少数载流子测试用工作台

摘要

本实用新型公开了一种方硅芯少数载流子测试用工作台，包括底板、支撑框架、检测仪、检测头、滑轨、支撑仓、移动组件、旋转固定组件和升降组件，所述支撑框架设于底板上，所述检测仪设于支撑框架下，所述检测头设于检测仪下，所述滑轨对称设于支撑框架的侧面上，所述支撑仓可滑动设于滑轨上，所述移动组件设于支撑仓内，所述旋转固定组件设于移动组件上，所述升降组件设于支撑仓下且设于支撑框架的侧面下端。本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体是指一种方硅芯少数载流子测试用工作台。