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硅晶圆的晶向偏离度测定方法探索

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本文介绍了晶向偏离度的测定方法,阐述了三种不同要求下晶向偏离度的测定方法,并描述了一些可能导致晶向偏离度计算错误或者晶向偏离不一致的情况.

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来源
《产业与科技论坛》|2019年第7期|72-73|共2页
作者
郑捷; 曹孜; 赵而敬; 蔡丽艳; 安瑞阳; 苏冰; 何宇; 路一辰;
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作者单位

有研半导体材料有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
半导体工艺; 晶圆; 晶向; 晶向偏离度;

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