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余洪斌; 陈海清; 张大成; 竺子民; 李婷;
华中科技大学 光电子工程系,湖北,武汉,430074;
北京大学 微电子学研究所,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;
变形反射镜; 体微加工; 静电驱动; 凸角补偿; 阳极键合;
机译:用于绝缘光学的基于绝缘硅的可变形反射镜阵列
机译:基于薄膜压电单压电晶片致动器的可变形反射镜,带有转移的硅膜
机译:利用体微加工技术的新型折射硅微透镜阵列
机译:基于星形执行器概念的具有曲率和倾斜/倾斜控制的新型可变形反射镜
机译:基于单点刀尖几何形状的新型轨道微加工技术的设计,表征和加工力模型。
机译:在宽视场显微镜的可变形反射镜的基于图像的校准
机译:基于表面硅微加工技术的3D激光扫描仪,用于人耳道的形状和尺寸重建
机译:大孔径可变形反射镜,带有转移的单晶硅膜,采用大行程pZT单晶片执行器驱动
机译:用于高能激光加工设备的可变形反射镜-在反射镜表面和反射镜壳体之间具有气密密封,在反射镜后部装有预组装的转换器
机译:反射镜和反射镜的热变形预防方法,用于EUV硬性地引起热变形
机译:使用硅微加工技术制造桥式探针卡及其制造方法
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