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机译:利用体微加工技术的新型折射硅微透镜阵列
Refractive; silicon; Microlens; Infrared; EDP-etchant;
机译:利用体微加工技术的新型折射硅微透镜阵列
机译:飞秒激光微加工在硅上制备大面积凹面微透镜阵列
机译:用于THz天线的硅微加工微透镜阵列
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机译:微加工电容式硅体声波陀螺仪。
机译:使用微机械模具部分固化的PDMS键合技术和多次浇铸来创建用于微透镜阵列的混合微流控芯片
机译:平板电化学制造,聚合物包埋多孔硅1D梯度折射率微透镜阵列