新型微机械变形反射镜研究

摘要

提出一种新型的静电驱动微机械变形反射镜,研究了静电力驱动的静态模型和动态模型。结果表明,驱动器的变形位移随驱动电压的增加出现稳定的非线性增加和不稳定的“拉入”现象;当变形镜由余弦电压驱动时,平衡位移的响应为2倍频的余弦信号;变形镜驱动电压撤除后驱动器上电极薄板经过17μs回复到驱动前的未变形状态。所得结果对于设计微机械变形镜具有重要意义。