基于硅微加工技术的超声定位微声学系统

摘要

本发明公开了属于定位与测距技术领域的一种基于硅微加工技术的超声定位与测距微声学系统。是用微声学器件铁电微扬声器作为超声波发射源，微声学器件铁电微麦克风作为超声波接收器；微扬声器和微麦克风的发射面和接收面都指向被测物体；超声波发射源和超声波接收器的输出信号线接到信号处理器，信号处理器的输出连接到计算机。微声学器件由制作有铁电薄膜等多层薄膜材料所构成。通过“超声波信号—电信号”互换效应应用于定位和测距系统中，具有很高的可靠性和抗干扰性，不易受温度、湿度等影响。极大地促进了产品的微型化和集成化，并有利于大批量的生产，从而降低了成本，获得高成品率，能大量的用于定位探测和超声测距市场前景巨大。