用于0.15μm以下器件光学光刻的准分子激光器

摘要

光学光刻正在瞄准１５０ｎｍ及更小尺寸的特征图形。在这种工艺中，计划采用１９３ｎｍ波长的ＡｒＦ准分子激光器和由Ｆ２准分子激光器发射的１５７ｎｍ波长光。在各种用途的激光器制造中，Ｌａｍｂｄａ ｐｈｙｓｉｋ公司已积累了２０多年的经验。从实际激光器的效率和耐久性来讲，在性能上的最大突破，就是通过引入金属陶瓷激光管而实现的。