公开/公告号CN102981201B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-29
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201210518419.7
申请日2009-02-24
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张启程
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:28:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-29
授权
授权
2013-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/20 申请日:20090224
实质审查的生效
2013-03-20
公开
公开
机译: 光学元件,包括这种光学元件的光刻设备,器件制造方法以及由此制造的器件
机译: 光学元件,包括这种光学元件的光刻设备和器件制造方法,以及由此制造的器件
机译: 光学元件,包括该光学元件的光刻设备和器件制造方法以及由此制造的器件