射频磁控溅射非晶Al–Mg–B薄膜的制备及性能

摘要

利用AlMgB14靶在高速钢上通过磁控溅射制备了Al–Mg–B薄膜.采用X射线衍射仪、原子力显微镜和辉光放电光谱仪对薄膜的组成结构进行了表征,采用纳米压痕仪和多功能摩擦磨损试验仪测试了薄膜的硬度及摩擦学性能.结果 表明,提高薄膜的沉积温度或溅射功率都会增加薄膜中B元素的含量,使得薄膜硬度提高,摩擦因数和磨损量下降.