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屈敏; 孙帅; 刘帅秀; 潘启玮; 张静; 刘金彪;
北方工业大学;
中国科学院微电子研究所;
机译:由于离子注入技术工艺的小型化,Cmos Lsi中的离子注入技术变得更加困难。
机译:等离子体浸没离子注入技术在双工和混合工艺中的应用
机译:0.1μmAlGaN / GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)工艺的改进大信号模型及其在W波段实用单片微波集成电路(MMIC)设计中的应用
机译:Ga_2O_3离子注入技术的进展及其在器件工艺中的应用
机译:砷化镓集成电路技术:离子注入技术和钯-锗欧姆接触处理。
机译:离子注入技术在亚微米超大规模集成电路中的应用研究
机译:X射线纳米光刻技术在光电集成电路制作中的应用
机译:估算各种应用中纳米流体的各种纳米流体的关键参数的方法和过程
机译:安全关键应用中的传感器集成电路和方法
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