负偏压不稳定性的危害及防治

摘要

负偏压不稳定性(NBTI)已成为现代集成电路制造的巨大挑战.文章将讨论负偏压不稳定性对器件及电路的影响,并对影响负偏压不稳定性的集成电路制造步骤进行分析.最后,我们找到一些对现有工艺进行改进的方法来减小负偏压不稳定性.