Entegris展示晶片和光罩客户解决方案

摘要

3月22日，Entegris携其晶片和光罩处理产品参加了在上海举行的SEMICON China 2006展览会。Entegris展示的4种产品分别是300mmFOSB（前开口传输盒）、Spectra FOUP（前开口一体盒）和SMP625单光罩包装盒以及高级光罩SMIF盒。