氧化锌基薄膜晶体管的进展与挑战

摘要

透明电子学由于其优异的电学性能在下一代高性能平板显示应用中受到了广泛的关注和研究。在显示应用中,薄膜晶体管(TFT)作为控制像素的基本单元发挥着重要作用。其中,基于氧化物的TFT具有高迁移率,良好的透明性,优异的均匀性和较低的加工温度,已成为有前途的候选材料,并逐渐取代了常规的非晶态和多晶硅TFT。本论文简要介绍了TFT器件的结构和工作原理,讨论了氧化锌基TFT的当前问题和挑战。