采用等离子CVD制作大面积FED用垂直定向的碳纳米管

摘要

1．前言 碳纳米管（CNT）直径小而细长，并且有很强的机械韧性，因此，被看作是很有希望的场电子发射式显示器（FED）用电子发射源材料。对FED已采用CNT做过试制，但多数情况下是把制作的CNT混合在溶液中，涂复后做定向处理，据称这种方法很难使CNT的密度做得均匀。另外，最近又尝试了利用热CVD（化学气相生长法）在基板上直接使CNT定向生长，并原封不动地将其作为显示器的电子源。