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陈婧; 丁桂甫; 杨卓青;
上海交通大学微纳科学技术研究院;
电热微驱动器; 薄层空气热传导; Cu牺牲层; 非硅表面微加工; 微机电系统;
机译:使用高纵横比微结构化Si / SU-8复合材料的精确直线电热微执行器
机译:SU-8不同厚度的SU-8电热微夹持器的静态和动态响应
机译:使用SU-8光刻胶掩模在柔性聚酰亚胺基板上进行高纵横比的Cu和Au线的微尺度金属化
机译:微合金钢(AISI 308L)覆盖微合金钢(API X65)复合材料的机械,金属胶和事实上表征(AISI 308L)
机译:使用SU-8(50)负性光刻胶开发微加工微孔结构。
机译:具有PEG驱动器的电热微致动力提高脑植入应用的性能
机译:电热SU-8微电压具有减少外平面位移的非线性数值分析及实验测试
机译:采用sU-8光刻胶的220-GHz片状光束放大器光栅的UV-LIGa微加工
机译:在SU-8聚合物中包封金属层的电热致动实现MEMS型设备的过程,用作微操纵的最终效应器
机译:用于微加工的碳纳米管/ SU-8纳米复合材料
机译:无倾斜或侧向位移的大垂直位移电热微驱动器
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