用于场致发射电推力器的微发射针制造技术

摘要

通过对场致发射电推力器的微针尖成形机理的分析以及多次电化学腐蚀实验,研究了溶液浓度、浸润深度、腐蚀电压等因素对发射极针尖尺寸的影响,最后得出了电化学腐蚀加工发射针的最优化加工参数.在KOH溶液浓度为5 mol/L、浸润深度为2 mm、腐蚀电压为6 V等优化工艺参数下制作出发射针,并利用交流电粗化处理制作出了符合场致发射电推力器应用的发射极针尖.