メモリー機能を有するフィールドエミッタアレイの作製 : 超高輝度フィールドエミッションディスプレイに向けて

摘要

フィールドエミッションディスプレイは従来パッシブ駆動されているが,各画素にメモリー機能を付加することで飛躍的に輝度を向上させることが可能となる.他のディスプレイでは実現できないような数万cd/m~2も原理的には可能である.本研究では,このような超高輝度フィールドエミッションディスプレイの実現を目指してメモリー機能を有するフィールドエミッタアレイの試作を行った.試作したデバイスは電子を放出するフィールドエミッタアレイ(FEA)と,FEAから放出される電流を正確に制御するTFTと,メモリーを構成するキャパシタおよび書き込み制御TFTを同一基板上に集積したものである.メモリー機能を有するFEAを真空チャンバー内にて動作実証を行い,メモリーのデータ保持時間がディスプレイ用途には十分な長さであることを確認した.本報告では,本デバイスの構成,作製プロセス,動作実証の結果について詳細に報告する.