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Ampere A.Tseng; 苏才钧; 周兆英; 叶雄英; 王晓浩;
清华大学精密仪器与机械学系;
微加工; 聚焦离子束; 直接写入; 蚀刻; 微结构; 半导体;
机译:通过一步聚焦离子束直接写入制造的半导体微透镜
机译:聚焦离子束直接写入技术开发的用于精密计量的星形结构的纳米制造
机译:聚焦离子束直接写入制备的波导中自旋波的零场传播
机译:聚焦离子束在微加工技术中的进展
机译:聚焦离子束微加工在氮化镓上的光子应用。
机译:通过聚焦氦离子束诱导沉积直接写入具有铂前体的3D纳米级网格物体
机译:通过聚焦离子束直接写入制备的波导中旋转波的零场传播
机译:采用飞秒激光加工的微细加工:(a)铁合金的激光烧蚀,(B)直接写入嵌入式光波导和大块玻璃中的集成光学器件。
机译:使用聚焦离子束写入技术的熔断和反熔断概念
机译:聚焦离子束混合加工中心及其加工技术
机译:化学增强的聚焦离子束微加工铜
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