focused ion beam; micromachining; microtools;
机译:从微加工到自组织微结构的双束聚焦离子束/电子显微镜处理和离子-表面3D交互过程中的重新沉积计量
机译:聚焦离子束技术及其应用的最新进展
机译:聚焦离子束仪器的源技术进步
机译:微加工技术中聚焦离子束的研究进展
机译:聚焦离子束微加工在氮化镓上的光子应用。
机译:勘误表:De TeresaJ.M。等。室温和低温条件下聚焦电子/离子束诱导沉积的比较。微型机械201910799
机译:聚焦离子束(FIB)微加工的纳米结构的表征