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方华军; 刘理天; 任天令;
清华大学微电子学研究所;
微麦克风; PZT; 压电悬臂梁;
机译:基于计算实验的基于PZT的压电悬臂梁设计优化
机译:用于硅基嵌入式微通道 - 三维歧管冷却器的热和制造设计考虑部分 - 第2部分:高热通量EMMC的参数研究(〜1 kW / cm〜2)电力电子冷却
机译:适用量身定制的系统级模型工业硅麦克风的虚拟设计与优化研究
机译:硅和聚合物基压电MEMS麦克风的设计与仿真
机译:具有固态和蜂窝基底的双压电晶片悬臂梁的几何参数和材料特性的设计优化,可最大程度地获取能量。
机译:硅基光栅波导的设计参数优化以提高生化传感器应用的性能
机译:嵌入式微通道中压电超声共振硅基芯片的优化设计
机译:用于非制冷红外探测技术的压阻式微悬臂梁优化
机译:基于性能表征的悬臂梁式压电能量采集器优化设计方法
机译:电容式微机械麦克风,具有平衡的体积,其横截面横向布置到膜片体积的高度,并且阻尼通道在气柱的流动方向上以弯曲,弯曲和展开的方式设计
机译:电容式微硅麦克风及其制造方法
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