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硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计

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摘要

利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径,导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型.采用此模型,对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行了模拟和分析.分析获得了各层薄膜结构参数与微执行器偏转位移的关系.根据此分析结果,进一步优化了压电悬臂梁型微执行器的设计,并给出了优化的方法.

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来源
《传感技术学报》|2006年第5期|1330-13321336|共4页
作者
方华军; 刘理天; 任天令;
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作者单位

清华大学微电子学研究所,北京,100084;

清华大学微电子学研究所,北京,100084;

清华大学微电子学研究所,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
MEMS; 压电多层膜; 悬臂梁; 微执行器;

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