聚酰亚胺及其等离子掺硅薄膜的光电导性能研究

摘要

本文用SiH_4等离子放电对聚酰亚胺薄膜掺硅,显著提高了光电导性.对掺杂后的薄膜的结构和光电导特征做了x 射线光电子能谱、光吸收谱和光电流谱分析.首次采用光刺激电流法(PSC)分析了聚酰亚胺及其掺硅薄膜的陷阱能级、分布和密度等参数,为分析光电导机理提供了可靠依据.