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具有光伏和光电导效应的掺铁碳薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明公开了属于新能源中薄膜太阳能电池及光电器件材料技术领域的具有光伏和光电导效应的掺铁碳薄膜材料及其制备方法。在n型Si基片上依次设有氧化铝层和掺杂铁的碳层,形成具有光伏和光电导效应的掺铁碳薄膜材料。该材料具有性能优越,价格低廉,是一种优异的可见光传感器材料和具有潜力的光伏器件。采用激光脉冲沉积方法制备该薄膜,在制备过程中,不使用任何有毒易燃易爆物质。这种光电薄膜在室温,100mW/cm

著录项

  • 公开/公告号CN101840941B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-11-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 清华大学;

    申请/专利号CN201010118523.8

  • 发明设计人 谭新玉;章晓中;王集敏;万蔡华;

    申请日2010-03-05

  • 分类号

  • 代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司;

  • 代理人童晓琳

  • 地址 100084 北京市100084-82信箱

  • 入库时间 2022-08-23 09:08:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-03-27

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/028 授权公告日:20111109 终止日期:20170305 申请日:20100305

    专利权的终止

  • 2011-11-09

    授权

    授权

  • 2011-11-09

    授权

    授权

  • 2010-11-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/028 申请日:20100305

    实质审查的生效

  • 2010-11-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/028 申请日:20100305

    实质审查的生效

  • 2010-09-22

    公开

    公开

  • 2010-09-22

    公开

    公开

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