氢、氦共注入的硅样品的退火行为

摘要

在以氢先氦后的顺序注入的硅样品中，经不同温度的退火，发现比氢、氦分别单独注入时小得多的注入剂量足以使硅样品表面产生砂眼及剥离。本文用ＲＢＳ／Ｃ、Ｘ射线四晶衍射、ＡＦＭ、ＸＴＥＭ 等不同方法对氢、氦共注入样品进行了研究，对结果作了计算机模拟，并对其机制做了分析与研究。